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硅片基精密玻璃成型工艺的热成型( Thermal modeling of wafer-based precision glass molding process )
H Yang L Shen Z Jian M Li Precision glass molding Thermal modeling Glasses Radiation Radiation effects Simulations Software Optics manufacturing Computational fluid dynamics
基于晶片的精密玻璃光学制造是一种将高精度与大规模生产相结合的创新方法。然而，由于玻璃晶片的厚径比小，成型后晶片内部温度分布不均匀，会产生变形和残余应力。因此，对基于晶圆的精密玻璃模塑(PGM)过程中加热系统的热模拟对优化加热系统和工艺具有重要意义。本文研究了自行开发的PGM工艺加热系统的瞬态热模型。首先，在CFD软件FLUENT中，采用离散纵坐标辐射模型对玻璃晶片表面和内部辐射的影响进行了数值模拟。然后利用模拟得到的玻璃晶片的温度分布来评价加热系统的性能，并研究了模型中的一些重要参数，如玻璃晶片内部和表面辐射、玻璃晶片与模具之间的热接触电导、玻璃晶片的厚径比。最后提出了对成型腔进行结构改进，以降低玻璃晶片内的温度梯度，效果显著。（2016）光-光学仪器工程师版权协会(SPIE)。只允许个人使用。会议演示视频访问spie.tv
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