集团/硫化锌复合钝化层对长波碲镉汞器件性能的影响研究

Scidown文献预览系统！

作者：scidown 发布时间：2021-06-28 08:37:29 文章标题：

集团/硫化锌复合钝化层对长波碲镉汞器件性能的影响研究( CdTe/ZnS复合钝化层对长波碲镉汞器件性能的影响研究 )

文章作者：

李雄军韩福忠李东升李立华胡彦博孔金丞赵俊秦强朱颖峰庄继胜长波碲镉汞表面钝化 SEM C-V I-V

文章简述：

采用CdTe/ZnS复合钝化技术对长波HgCdTe薄膜进行表面钝化,并对钝化膜生长工艺进行了改进.采用不同钝化工艺分别制备了MIS器件和二极管器件,并进行了SEM,C-V和I-V表征分析,研究了HgCdTe/钝化层之间的界面特性及其对器件性能的影响.结果表明,钝化工艺改进后所生长的CdTe薄膜更为致密且无大的孔洞,CdTe/HgCdTe界面晶格结构有序度获得改善;采用改进的钝化工艺制备的MIS器件C-V测试曲线呈现高频特性,界面固定电荷面密度从改进前的1.67×10n cm-下降至5.69×1010 cm-2;采用常规钝化工艺制备的二极管器件在较高反向偏压下出现较大的表面沟道漏电流,新工艺制备的器件表面漏电现象获得了有效抑制.

文章下载地址（开放版）：