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钢基体退火过程中(Ti,W,Cr)B2涂层的组织演变( Microstructural Evolution of (Ti,W,Cr)B2 Coatings Deposited on Steel Substrates during Annealing )
N Aleksandra C Benjamin T Rainer S Harald transition metal boride coatings phase formation magnetron sputtering
本文研究了(Ti0.49W0.51)B2和(Ti0.44W0.30Cr0.26)B2过渡金属二硼化物涂层。采用直流磁控溅射法在钢基体上沉积了镀层。我们研究了在氩气中高温退火是如何改变显微组织的。所沉积的薄膜为非晶态。在700~1100°C的退火温度下,形成了平均晶粒直径约为10~50 nm的纳米晶析出相。观察到TiC相(Fm-3m;A≈4.3)为主要析出相。此外,还观察到少量(10%-20%)的Cr23C6相(Fm-3m;a≈10.6)。与在硅衬底上沉积的相同涂层的文献数据相比,在这里硼化物沉淀相的形成被强烈地抑制。通过X射线衍射、电镜和二次离子质谱的研究表明,涂层的纳米结构是由硼化物涂层与含碳钢基体反应生成相而形成的。
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