基于MEMS技术的新型电极聚酰亚胺层型高性能电容式湿度传感器

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作者：scidown 发布时间：2021-06-07 23:57:46 文章标题：

基于MEMS技术的新型电极聚酰亚胺层型高性能电容式湿度传感器( High-performance capacitive humidity sensor with novel electrode and polyimide layer based on MEMS technology )

文章作者：

JH Kim SM Hong BM Moon K Kim Practical/ capacitive sensors electrodes etching microsensors/ high-performance capacitive humidity sensor electrode layer polyimide layer MEMS technology electrode passivation PI etching moisture absorption path/ B7230 Sensing devices and transducers B2575F Fabrication of MEMS and NEMS devices

文章简述：

提出了一种基于新型电极和聚酰亚胺(PI)层的高性能电容式湿度传感器。该湿度传感器由带腔体的衬底、底电极、PI传感层、带分支的梳状顶电极组成。形成衬底的空腔结构以保护顶部电极。为了提高传感器的性能，根据上电极钝化的方法，采用O2等离子体刻蚀技术对PI涂层进行了刻蚀。经PI刻蚀后,湿敏元件的灵敏度可达506fF/%RH,响应时间小于6s,这主要是由于PI层与水分接触面积增大,吸湿路径缩短所致。对温度、迟滞和稳定性的影响进行了进一步的表征。该湿度传感器具有2.05%RH的磁滞,温度依赖性小,电容值稳定,24h误差率最大为0.28%。

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