薄膜应力的研究进展

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作者：scidown 发布时间：2021-06-02 04:39:23 文章标题：

薄膜应力的研究进展

文章作者：

陈焘罗崇泰薄膜应力光学薄膜模型

文章简述：

薄膜应力对薄膜性能具有重要的影响.主要介绍了薄膜应力形成机理和应力实验的研究进展,并探讨了薄膜应力研究的发展趋势.通过选择适当的工艺条件以及表面处理可以改变薄膜的应力分布,提高薄膜的性能.

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