生产制备真空镀膜材料的方法与关键

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作者：scidown 发布时间：2021-08-26 15:20:23 文章标题：

生产制备真空镀膜材料的方法与关键

文章作者：

侯印春镀膜材料真空镀膜技术镀膜工艺物理气相沉积溅射靶材真空机组晶体颗粒光学薄膜真空溅射法烧结

文章简述：

1引言镀膜技术的发展可以追溯到18世纪末,但真空镀膜技术是从20世纪30年代才开始崛起.1930年,由油扩散泵和旋片机械泵组成的真空机组为真空镀膜技术的发展推波助澜.真空镀膜发展初期,由于所

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