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用于探测半导体晶圆的探针瓦( Probe Tile for Probing Semiconductor Wafer )
BJ Root
公开了一种用于保持用于测试半导体晶片的一个或多个探针的瓦片。瓷砖具有一个或多个用于插入一个或多个探针以测试半导体晶片的位置。每个站点都有一个或多个孔。每个孔与形成角度的狭缝耦合。探针从瓷砖的顶部穿过孔插入瓷砖，并坐在槽上。探针具有探针尖端。探针顶部在瓷砖底部的槽的一端与半导体晶片接触。探针尖端与半导体晶片上的键合垫的X和Y坐标对准。
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