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基于HfO 2的FeFET和FTJ用于以铁电存储器为中心的3D LSI的低功耗高密度存储和人工智能应用( HfO 2 -based FeFET and FTJ for Ferroelectric-Memory Centric 3D LSI towards Low-Power and High-Density Storage and AI Applications )
M Saitoh R Ichihara M Yamaguchi K Suzuki S Fujii
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