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国外GaN功率器件衬底材料和外延技术研发现状
付兴中 赵金霞 崔玉兴 付兴昌 氮化镓;碳化硅;硅;金刚石;衬底材料;异质集成
甘。原文如此,西甘甘。(6SiC,8Si),GaNHEMTSiCMOSGaNHEMT。甘,,,甘斯。
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