用于193nm电阻的新型透明PAGs

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作者：scidown 发布时间：2021-06-21 15:12:55 文章标题：

用于193nm电阻的新型透明PAGs( Novel transparent PAGs for 193-nm resists )

文章作者：

K Kodama S Kanna M Momota Absorption Deep ultraviolet Line edge roughness Polymers Spine Transparency

文章简述：

曝光波长下抗蚀剂膜的透明度影响光刻性能，如感光度、轮廓和分辨率。不仅粘结剂聚合物，光生酸剂(PAG)本身也对所配制的抗蚀剂的透明度有显着影响。三苯基磺盐(TPS)或二苯基碘鎓盐(DPI)已被广泛用于DUV化学放大(CA)抗蚀剂中的PAGs,但这些PAGs中的芳香基团在193nm处有很强的吸收,因此这些PAGs的透明度较低。在本文中，我们将报道一种新型的透明烯酮磺盐PAGs（ENS-PAG），我们认为它对193nm抗蚀剂是有用的。ENS-PAGs不含任何芳香基团,但其主链上的吸收部分有一个不饱和酮结构。这些PAG显示出优异的透明度、热稳定性，并且在线边缘粗糙度(LER)方面显示出优势。

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