微型光谱仪的发展 - Sci-Hub|Scidown

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作者：scidown 发布时间：2021-06-12 12:45:04 文章标题：

微型光谱仪的发展

文章作者：

鞠挥吴一辉微型光谱仪微机电系统微光学微制造技术

文章简述：

随着MEMS,微光学等微制造技术的发展,光谱仪器的微型化成为可能,光谱仪的微型化是光谱仪器的一个重要发展方向.本文根据国内外正在进行的微型光谱仪的研制工作,对微型光谱仪的发展进行了比较全面的综述,最后对研究微型光谱仪的意义进行了总结.

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