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利用蒙特卡罗模拟研究了低能离子束诱导白云母[KAl2(Si3Al)O10(OH)2]溅射参数( Study of low energy ion beam induced sputtering parameters of muscovite mica [KAl2(Si3Al)O10(OH)2] using Monte Carlo simulation )
D Bhowmik J Mukherjee
天然白云母[Kal2(Si3Al)O10(OH)2]是一种多元素的二维绝缘材料,广泛应用于原子力显微镜标定、生物基底沉积、电子器件材料等领域。云母的应用广泛、易得、成本低,可以通过不同的离子束参数溅射云母的不同组成元素来改变几层或单层的性能。由于离子束技术是一种通用、精确、可控的方法，通过选择合适的参数可以实现单层或多层膜的改性。几层云母表面的改性基本上是不同云母元素溅射的后果，可以通过云母元素的溅射产率(Y)来理解。本文利用Stopping and Range of Ions in Matter（SRIM）软件,通过Monte Carlo模拟,研究了溅射产额随离子入射角、弹丸质量和离子能量的变化规律。在500 eV和10 keV离子下,K(K)原子和云母的溅射产额随离子入射角的增加而先增加,并分别在70°和80°附近达到最大值；然后对所考虑的所有离子减少。计算了钾(K)空位分布，发现与溅射产额结果一致。除He离子外，云母的溅射产额随离子质量和离子能量的增加而增加，用离子穿透深度解释了这一点。
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