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一种用于小型扫描仪的阶梯状光纤针尖的制作( Fabrication of a stepped optical fiber tip for miniaturized scanners )
M Kaur G Hohert PM Lane C Menon
微型光学扫描器制造的进步将得益于微米尺寸的光纤尖端。光纤尖端横截面的变化通常伴随着较长的锥形区域的存在。本文考虑了双包层光纤（DCFs）在截面发生变化的区域（截面突变）具有平坦界面的情况下截面的减小问题。探讨了加热和拉拔、氢氟酸(HF)湿法刻蚀、汽态刻蚀等多种方法。还测定了光学蚀刻速率及其与蚀刻液温度的关系。光纤的腐蚀与时间成线性关系，腐蚀速度与腐蚀液的温度呈抛物线关系。在制作亚毫米尺寸的扫描器时，截面变化处的表面平整度是一个有趣的参数，在这种情况下，光通过DCF的芯部传输，反射光通过同一光纤的内包层收集，反之亦然。比较了利用上述技术开发的不同纤维样品在界面处的表面平整度。本研究表明，通过阻挡蚀刻液沿光纤的毛细管上升而进行的湿法化学蚀刻，在透射到目标样品的光强和通过蚀刻包层界面收集的反射光方面均优于加热拉法。
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