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低温烧结的0.07Pb(Sb1/2Nb1/2)O3-0.93 pb (Zr Ti1)O3多层压电陶瓷驱动器的电学性能( The electrical properties of low-temperature sintered 0.07Pb(Sb1/2Nb1/2)O3-0.93Pb(Zr Ti1)O3 multilayer piezoceramic actuator )
J Chen ZZ Du YT Yang H Hu
采用LiBiO2、CuO和ZnO(LBCZ)助烧剂，在920℃低烧成温度下制备了0.07Pb(Sb1/2Nb1/2)O3-0.93Pb(ZrxTi1x)O3(PSbN-PZT)压电陶瓷。材料的逆压电系数d33*为558pm/v，相对介电常数εt33/ε0为1725，平面耦合系数kp为0.6，高居里温度Tc为308°C，表明该材料适合用作低成本的多层陶瓷驱动器。采用流延法制备了采用Ag/Pd内电极的PSbN-PZT压电陶瓷多层驱动器。单片PSbN-PZT多层驱动器（厚度为2.0 mm）在125 V的驱动电压下实现了1.45μm的大位移，而在32 MPa的机械应力下，位移减小了27%。PSbN-PZT多层陶瓷驱动器具有良好的温度稳定性，优于市售PZT-5H陶瓷驱动器。这些结果表明，低温烧成的PSbN-PZT多层压电致动器是一种很有前途的商用压电致动器候选器件。
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