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触点定制超灵敏压阻压力传感器，具有广泛的动态响应范围和低检测限( Touchpoint-Tailored Ultrasensitive Piezoresistive Pressure Sensors with a Broad Dynamic Response Range and Low Detection Limit )
Ming Chen Kun Li Guanming Cheng Ke He Weiwei Li Daoshu Zhang Weimin Li Ye Feng Lei Wei Wenjie Li Guohua Zhong Chunlei Yang
高灵敏度、宽动态响应范围、低检测限的可穿戴式压力传感器在电子皮肤和软机器人等领域有着广泛的应用前景。本文报道了一种基于微结构聚二甲基硅氧烷(PDMS)/Ag和粗糙聚酰亚胺/Au叉指电极的高性能可穿戴压力传感器。通过调整触点，所得到的压力传感器具有超高灵敏度(0-2.5kPa范围内为259.32kPa-1）,宽动态响应范围(0-54kPa）,快速响应(200μs)和低检测限(0.36Pa）。在此基础上，系统地研究了传感器结构、PDMS几何特性和Ag厚度对压力传感器性能的影响。由于这些优点，所制作的压力传感器能够实时监测脉搏波，并可作为机械手的人工皮肤来检测微弱的压力变化，在生物医学、实时健康监测、智能机器人等领域具有广阔的应用前景。
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