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分布折射率平面微透镜( Distributed-index planar microlens )
M Oikawa K Iga INTEGRATED OPTICS FIBER OPTICS
平面技术已被用于单片制作微透镜阵列。通过选择性地将掺杂剂扩散到平面衬底中,实现了分布折射率平面微透镜。对塑料衬底采用了单体交换技术,对玻璃衬底采用了离子交换和电迁移技术。特别是在玻璃衬底上制作了二维平面微透镜阵列。每个微透镜直径为1.2mm,焦距为9.4mm。准直后的He-Ne激光束聚焦光斑小至17微米。
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