气体传感用PLD生长wo3薄膜的表征

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作者：scidown 发布时间：2021-06-06 13:52:19 文章标题：

气体传感用PLD生长wo3薄膜的表征( Characterization of PLD grown WO 3 thin films for gas sensing )

文章作者：

SI Boyadjiev V Georgieva N Stefan GE Stan IM Szilágyi Gas sensor Quartz crystal microbalance Pulsed laser deposition Thin film WO3

文章简述：

采用脉冲激光沉积(PLD)技术制备了三氧化钨(WO3)薄膜，并将其应用于气敏元件中。用原子力显微镜(AFM)、X射线衍射(XRD)、傅里叶变换红外(FTIR)光谱和轮廓术对薄膜进行了研究。为了研究WO3薄膜的气敏特性，在石英谐振腔上制备了WO3薄膜，并用石英晶体微天平(QCM)法对其气敏特性进行了分析。观察到从以单斜WO3为主的靶出发合成四方WO3薄膜。在300°C下沉积的薄膜具有有利于吸附性能的表面拓扑结构，由具有突出的凹坑/空洞的薄膜基体组成。对具有这种薄膜的QCM原型传感器进行了NO2传感测试。PLD生长的WO3薄膜在室温下，即使在沉积状态下，也表现出良好的灵敏度和快速的反应。利用所提出的技术，QCM气体传感器的制造具有简单、快速、成本效益高的特点，同时也适用于环境变化在线监测的节能便携式设备。

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