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基于活塞式微镜的线性光学相控阵的常规表面微加工工艺( Conventional surface micromachining process for the fabrication of a linear optical phased array based on piston micromirrors )
Tarek Mohammad Siyuan He Ridha Ben Mrad
基于微机电系统(MEMS)的光学相控阵(OPA)技术通常要求横向尺寸高宽比的窄而紧密的悬浮微结构。本文介绍了一种采用标准PolyMUMPs工艺制作的一维OPA系统，为OPA技术提供了一种低成本、简化和商业化的表面微加工技术。所提出的OPA器件利用具有高深宽比结构的金属涂层硅微镜阵列作为光学移相器。沿着阵列的每个微镜由一个静电平行板微致动器单独致动，所述静电平行板微致动器由定位在固定电极上方的微悬臂梁制成。该器件获得的视场为4.76°，与以往采用定制和复杂表面微加工工艺制作的基于MEMS的OPA器件的视场相当。在偏置电压为55 V时,OPA器件的响应时间为6.5 s,离面驱动行程为0.16 m。移相器的离面位移量等于所用激光波长（650 nm）的四分之一,从而导致所需的弧度光学相移。
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