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磁控溅射在低衬底温度下生长的氧化钒薄膜的相演化和热致变色性( Phase evolution and thermochromism of vanadium oxide thin films grown at low substrate temperatures during magnetron sputtering )
M Zhu D Zhang S Jiang S Liu Y Yang
钒氧化物（VOx）由于其独特的相变特性,在热致变色材料、电化学和红外探测器等方面得到了广泛的研究。而各种钒氧化物相由于其特别复杂的钒氧体系，通常会在不同的沉积条件下出现。本研究在磁控溅射过程中,通过控制衬底温度在250°C～400°C之间,获得了纯相或混合相的V3O7、VO2(B)、VO2(M)和V2O5薄膜。利用X射线衍射和拉曼光谱对氧化钒薄膜的微观结构和相组成进行了表征和分析。相的演化依赖于衬底温度，并且可以被澄清。在250～300°C的衬底温度下得到亚稳的V3O7和VO2(B)相,而在350～400°C的衬底温度下得到稳定的VO2和V2O5相。详细考察了不同衬底温度下氧化钒薄膜的表面形貌和光学性质。我们的结果提供了在良好控制衬底温度下转化钒氧化物相的方法。
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