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汞镉碲化物红外探测器的表面钝化( Surface Passivation of Mercury-Cadmium-Telluride Infrared Detectors )
R Singh AK Gupta KC Chhabra Mercury cadmium telluride Photochemical Infrared detectors
综述了绝缘体膜钝化在高性能碲镉汞(MCT)红外探测器上应用的理论考虑和实际问题。本文讨论了钝化膜的生长方法、界面性质和应用，包括天然钝化膜和沉积钝化膜。天然薄膜包括阳极、化学、光化学和等离子体氧化物以及阳极硫化物和氟氧化物。沉积的薄膜包括ZnS、光CVD生长的SiO2、CdTe和SiN(x)。总结了MCT上所有这些钝化膜的性能。
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