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多晶硅生产系统的cfd辅助设计( CFD-Aided Design for Polysilicon Production System )
D Cai LL Zheng H Zhang Y Wan M Chandra Polysilicon Design Manufacturing systems
本文介绍了采用硅管CVD工艺的多晶硅生产系统的CFD辅助设计。进行了虚拟实验,建立了一个能描述多组分流体流动、气体/表面化学、共轭传热、热辐射和物质输运的复杂计算模型。通过理论分析，找到了硅烷和氢气混合物的一个理想的速度区。对不同反应器几何形状、操作条件（例如，初级硅烷和次级氢气的流量）和加热功率设计进行了流场、温度和物种输运的模拟。多晶硅的沉积速率已由解析和计算两种方法导出。研究了各种条件对沉积速率的影响，得到了最佳的几何形状和操作条件。
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