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电容式湿度传感器的目标性能优化:成分混合与集成无源器件制造( Target Properties Optimization on Capacitive-Type Humidity Sensor:Ingredients Hybrid and Integrated Passive Devices Fabrication )
H Yu JG Liang C Wang CC Liu XF Gu
优化的吸湿膜制备和高精度的制造保证了湿度传感器在灵敏度、迟滞、响应/恢复速度、可靠性等方面的预期性能。本文在工业化生产的前提下,论证了一种综合优先化方案。研究了均苯四甲酸二酐(PMDA)/对苯二胺（p-PDA）和PMDA/氧化二苯胺(ODA)等原料混合物对薄膜表面塌陷的影响。采用聚丙烯腈(PAN)作为添加剂，以提高薄膜的可靠性（120 h连续测试的测量误差率最大为0.15%)，并辅助薄膜涂布过程。采用平均粒径为0.33微米的金红石型TiO2作为掺杂元素,降低了相对湿度(RH)为0.95%时的磁滞,提高了RH为0.94pF/%RH时的灵敏度,并将响应/恢复时间限制在40 s以内。采用集成无源器件(IPD)工艺，保证了薄膜的生长质量和生产性能的一致性。
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