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封闭空间CVD法制备大规模MoS2(1x)Se2x单分子膜( Large-scale MoS2(1x)Se2x monolayers synthesized by confined-space CVD )
Y Qian H Nan X Gu
合金工程技术可以有效地调节过渡金属二卤化物（TMDs）的电子结构和物理化学性质。在这里，我们发展了一种高效简单的有限空间CVD方法，利用较小的石英舟嵌套在较大的石英舟中，在SiO2/Si衬底上制备了成分可控的MoS2(1x)Se2x三元合金单层。系统地研究了混合载气(Ar/H2)中氢气比对所得薄片的影响。实验结果表明，采用15%的加氢比合成大尺寸（大于400μm)单晶MoS2(1x)Se2x合金单层是最合适的。通过改变Se和S粉的重量比，合金的成分也可以在全范围内(2x=0-2)改变。单层MoS2(1x)Se2x合金在Raman和PL测试中表现出连续高的晶体质量。此外，在可见光(532nm)下，基于MoS2(1x)Se2x的光电探测器显示出良好的光响应，其快速响应小于50 ms。本文的工作对TMDs合金的合成及其光电子应用具有一定的指导意义。
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