利用光学相干层析技术对激光加工性能的三维非破坏性光学评价

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作者：scidown 发布时间：2021-05-28 22:02:48 文章标题：

利用光学相干层析技术对激光加工性能的三维非破坏性光学评价( Three-dimensional non-destructive optical evaluation of laser-processing performance using optical coherence tomography )

文章作者：

Y Kim ES Choi W Kwak Y Shin W Jung YC Ahn Z Chen Experimental/ laser materials processing nondestructive testing optical tomography/ nondestructive optical evaluation laser-processing performance optical coherence tomography pit formation conventional scanning electron microscope OCT geometrical characteristics/ A4262A Laser materials processing B4360B Laser materials processing A4230V Image processing and restoration A8170G Nondestructive testing: optical methods B6135 Optical, image and video signal processing

文章简述：

我们演示了光学相干断层扫描(OCT)作为一种非破坏性诊断工具的使用，通过对凹坑和边缘的特征成像来评估激光加工性能。利用常规扫描电子显微镜(SEM)和OCT对在不同激光加工条件下在材料上形成的凹坑进行成像。然后利用相应的图像，对坑洞的几何特征进行了分析和比较。实验结果验证了OCT应用于激光加工性能监测的可行性和潜力。

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