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基于多色积分衍射效率的多层衍射光学元件偏心误差公差分析( Tolerance analysis on decenter error of multilayer diffractive optical elements based on polychromatic integral diffraction efficiency )
Shan Mao Jianlin Zhao
偏心误差可以决定混合光学系统在宽波段上的多色积分衍射效率(PIDE)，进而决定成像质量。给出了多层衍射光学元件偏心误差与PIDE关系的数学模型,并基于衍射光学元件的相位延迟导出了垂直入射和斜入射两种情况下偏心误差与PIDE关系的表达式。最后,分析了ZnS-ZnSe材料组合的长红外波段MLDOS的PIDE对偏心误差的敏感性,提出了保证宽波段高PIDE和设计波长衍射效率的偏心误差容限。本文的分析方法和结果可为光学工程人员指导混合光学系统中MLDOS偏心误差的确定提供参考。
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