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应变不敏感的本质可伸缩晶体管和电路( Strain-insensitive intrinsically stretchable transistors and circuits )
W Wang S Wang R Rastak Y Ochiai Z Bao
本质上可伸展的电子器件可以与人体形成亲密的接口，创造出可以用来监测生理信号而不限制运动的设备。然而，机械应变总是导致器件的电子性能下降。在这里，我们表明，可以用全弹性体应变工程方法来创建应变不敏感的本征可伸缩晶体管阵列，其中将具有可调刚度的图案化弹性体层纳入晶体管结构。通过改变弹性体的交联密度，引入了增加局部刚度的区域，减少了器件有源区的应变。这种方法可以很容易地结合到现有的制造工艺中，我们用它来创建器件密度为340个晶体管cm-2的阵列，当拉伸到100%应变时，应变不灵敏性小于5%的性能变化。我们还表明，它可以用于制作应变不敏感的电路元件，包括或非门、环形振荡器和高增益放大器，以稳定地监测电生理信号。
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