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用于动态振幅和相位调制的双模谐振介电超表面的纳米机电调谐( Nano-electromechanical Tuning of Dual-Mode Resonant Dielectric Metasurfaces for Dynamic Amplitude and Phase Modulation )
H Kwon T Zheng A Faraon
平面全介质光子晶体或元表面具有多种共振本征模，包括漏导模共振(GMR)和连续介质束缚态(BIC)。设计这些谐振模式可以为各种应用提供新的机会。特别地，谐振的电气控制将通过使其可调谐来促进应用的发展。在这里，我们实验证明了在电信波长范围内GMR和准BIC模的纳米机电调谐。在几伏特的静电作用下,器件的光谱位移超过5 nm,绝对强度调制超过40%,调制速度超过10 kHz。我们还证明了当两个模在频谱上重叠时，两个共振之间的干涉使得相位响应增强。在4 V的偏置下，实验观察到了144°的相移。我们的工作提出了一条直接通过GMRs和准BIC共振来实现光调制器的途径。
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