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基于电子束光刻刻变周期平面衍射光栅的单波长可调谐掺铒光纤激光器( Single-wavelength tunable erbium-doped fiber laser based on electron beam lithography inscribed varied-period plane diffraction grating )
W He Q Zhang F Meng L Zhu
提出了一种基于变周期平面衍射光栅的单波长可调谐掺铒光纤激光器，并进行了实验验证；通过逐行电子束光刻(EBL)和反应离子刻蚀制备了所设计的光栅。用该光栅作为光纤激光器波长选择器，根据设计的线密度函数，其线密度在950～590L/mm之间变化，器件表面镀铝。用两个端口的3 dB光纤耦合器分别连接光栅和光谱分析仪。内接光栅长度和宽度均为80×10mm。该光纤激光器的工作阈值为130mW，入射光角在0.5°范围内由20°增大到22.5°，单波长激光从1529.47nm漂移到1532.99nm，角度灵敏度为1.42nm/°，线性度为0.998。激光3dB线宽小于0.05nm，信噪比大于16.28dB。在10 min的监测过程中，激光功率波动小于0.928dB。
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