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纳米氮化铝薄膜的控制生长全彩色范围( Controlled growth of nanocrystalline aluminum nitride films for full color range )
X Shi X Yu C Nie F Li S Zhang
彩色胶片因其功能特性和视觉效果而被广泛应用。然而，到目前为止，合成具有所需颜色的薄膜仍然具有挑战性。本文在Ar/N2气氛中，通过精确控制反应磁控溅射Al靶的沉积时间，在Si片上沉积了不同厚度的AlN彩色薄膜。采用场发射扫描电镜、原子力显微镜、掠入射X射线衍射、X射线光电子能谱和比色仪对样品的厚度、形貌、结构、成分和颜色指数进行了分析。当薄膜厚度从57 nm到165 nm变化时，薄膜呈现紫色、靛蓝、蓝色、绿色、黄色、橙色和红色。当厚度超过165纳米时，这些颜色以相同的顺序重复。一旦厚度超过467纳米，颜色重叠发生。并对其机理进行了阐述。
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