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用于光存储接口的基于si的光I/O( Si-based optical I/O for optical memory interface )
K Ha D Shin H Byun K Cho C Chung Interfaces Data storage Electronics Modulators Optical interconnects Photodiodes Silicon photonics Waveguides
光互连可以为最近的存储器接口系统的容量-带宽权衡提供解决方案。为了实现高性价比的光存储器接口，三星电子一直在存储器兼容的体硅300毫米晶圆上开发硅光子学平台。在体硅平台上实现了传输损耗为0.6dB/mm的波导、耦合损耗为2.7dB的垂直光栅耦合器、速度为10Gbps的调制器和带宽为12.5Gbps的Ge/Si光电二极管。采用CMOS工艺制作了2×6.4Gbps的电驱动电路。
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