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提出了一种新的超精密金刚石铣削纳米表面粗糙度各向异性评定方法( A novel anisotropic assessment method for nanometric surface roughness of ultra-precision diamond milling )
Pan Guo Zhiwen Xiong Shaojian Zhang
超精密金刚石铣削(UPDM)是一种超精密加工方法，能提供纳米级的表面粗糙度(NSR)。NSR具有丰富的各向异性特征，对噪声非常敏感。然而，对各向异性NSR缺乏有效的评价。因此，本研究提出表面差异和表面曲率作为额外参数来估计UPDM的各向异性NSR。此外，通过95-99规则的概率分布来降低噪声影响。值得注意的是，所提出的方法有效地代表了UPDM的NSR的各向异性评估。
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