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玻璃表面直接激光烧蚀与激光诱导等离子体辅助烧蚀的比较研究( A comparative study of direct laser ablation and laser-induced plasma-assisted ablation on glass surface )
Y Xia X Jing D Zhang F Wang H Li
本文提出了用皮秒激光辐照直接激光烧蚀(DLA)和激光诱导等离子体辅助烧蚀(LIPAA)方法在玻璃基板表面制作单通道微槽的对比研究。对比研究了微沟槽的形态特征和表面化学成分。为此，采用光学显微镜、扫描电镜(SEM)和X射线光电子能谱(XPS)等手段对其形貌和化学成分的变化进行了表征。探讨了激光参数对玻璃表面形貌的影响。对于DLA,当激光输出功率为3 W时,扫描速度为1 mm/s时,成功制备出裂纹数量和尺寸最小的微槽；对于LIPAA,当激光输出功率为1 W时,扫描速度为1 mm/s时,玻璃衬底与铜靶的距离为0.06 mm时,获得了无裂纹且深度较大的微槽。X射线光电子能谱分析结果表明,DLA处理后玻璃表面化学元素无明显变化,而LIPAA处理后玻璃表面有Cu元素沉积。
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