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在180nm节点硅光子MPW平台上的OPC初步开发( Preliminary Round of OPC Development in 180nm node Silicon Photonics MPW platform )
Z Huang Z Zheng S Chen J Feng G Cao
硅光子技术已成为电信、数据中心互连、激光雷达、光学传感和量子计算等多种应用领域的一种使能技术。然而，许多研究小组或无晶圆厂的公司缺乏与CMOS技术兼容的硅光子学器件的制造设施。多项目晶圆(MPW)服务将是一个令人满意的解决方案。光学邻近校正(OPC)是硅光子学MPW平台中必不可少的部分。本文介绍了CUMEC的180 nm节点硅光子学MPW平台上OPC的初步开发工作。
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