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紧凑型宽带悬浮硅光子定向耦合器( Compact broadband suspended Silicon Photonic directional coupler )
H Sattari AY Takabayashi Y Zhang P Verheyen N Quack
定向耦合器被广泛地应用于光子集成电路中，作为高效的片上光子信号路由的基本元件。通常，定向耦合器完全封装在该技术的波导包层材料中。在这封信中，我们展示了一个紧凑型宽带定向耦合器，完全悬浮在空气中，在交叉状态下表现出高效的功率耦合。耦合器是基于IMEC的iSiPP50G标准平台设计和制造的，基于氢氟酸(HF)气相蚀刻的后处理允许释放独立组件。实验结果表明,在1560nm波长处插入损耗为0.5dB,在1550nm波长处带宽为35nm,插入损耗为1dB。这种定向耦合器具有20m×30m的小尺寸和较高的机械稳定性，可以作为大规模硅光子微机电系统(MEMS)电路的基本构件。
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