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大深度和陡峭微结构碳化硅表面的地面精度评价( Evaluation on Ground Surface Accuracies of Large-Depth and Steeply Micro-Structured SiC Surfaces )
P Li X Liu J Chen
微结构可以用来增强具有附加功能的技术表面，这些功能正在推动许多工业应用领域的进步。然而，由于白光干涉测量技术的局限性，很难获得大深度、陡峭微结构表面的三维有效信息。为此，本文提出了一种结合遗传算法的交互式最近点法（interactive closest point,ICP）对二分法测量的微形貌进行配准，以评价微结构表面的微形态和微轮廓精度。首先，利用金刚石砂轮V形尖制备了微金字塔结构的SiC；随后，利用ICP方法构建了3个理想的点模型来匹配测量的点云；最后，利用非支配排序遗传算法-II（NSGA-II）对二分测量点云进行微形状和微轮廓误差的微对齐。结果表明，配准精度主要取决于理想轮廓点数，而配准效率则取决于理想点数。与传统的ICP匹配方法相比,NSGA-II对显微轮廓的配准精度提高了42.6%。实验结果表明，微磨削能够将微形和微轮廓精度控制在4%以内。
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