等离子体射流阵列辅助薄膜沉积对环氧树脂表面电气特性的影响

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作者：scidown 发布时间：2021-06-16 21:47:58 文章标题：

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马翊洋章程孔飞王婷婷陈根永邵涛射流阵列 SiOx薄膜表面电荷环氧树脂闪络电压

文章简述：

直流电场下的绝缘材料表面电荷积聚现象对电气设备的安全运行造成威胁。为了加快环氧树脂(ER)表面电荷的消散,文中采用纳秒脉冲电源激励的大气压等离子体射流(APPJ)阵列,对环氧树脂表面进行扫描处理,沉积SiO_x薄膜,之后利用傅里叶变换红外光谱仪(FTIR)、扫描电子显微镜(SEM)、高阻计、表面电位测试系统等装置对改性前后的样品表面理化特性进行表征分析。实验结果表明:射流阵列扫描沉积在环氧树脂表面引入了Si—O—Si、Si—OH和OH等基团,并且形成的薄膜使材料表面粗糙度降低。改性后的环氧树脂表面电导率提升2~3个数量级,使表面电荷初始积聚量减少,消散速度加快,陷阱能级的深度与密度均有所降低,闪络电压由未处理时的-6.5 kV提升至扫描沉积4次时的-9.3 kV。相对于单管射流改性,射流阵列可产生更大面积的低温等离子体,具有更高的处理效率和实用性。

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