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用于高性能丙酮气体传感的金修饰ZnO/Ag核壳膜耗尽层的工程研究( Engineering the Depletion Layer of Au-Modified ZnO/Ag Core-Shell Films for High-Performance Acetone Gas Sensing )
QA Drmosh YAA Wajih IO Alade AK Mohamedkhair ZH Yamani
了解耗尽区的作用、电荷传输行为和能带调制对于改善不同传感器的性能至关重要，包括用于通过呼出呼吸诊断糖尿病的精确丙酮传感器。在此，我们报告了一种新的方法，以放大性能的丙酮气体传感器工程耗尽层。通过连续直流溅射和后热处理,成功地制备了不同Au、ZnO、Ag含量的Au修饰ZnO/Ag核壳膜（Au/ZnO/Ag）,用于低浓度丙酮的检测。获得最高丙酮响应的最佳Ag、ZnO和Au厚度分别为11、13和12 nm。Au/ZnO/Ag核壳膜的丙酮传感性能分别是ZnO和ZnO/Ag核壳膜的4倍和2倍。此外,Au/ZnO/Ag核壳结构传感器在150°C工作温度下具有良好的重复性、高选择性和快速响应能力。所研制的传感器的高性能归功于形成了较厚的耗尽层，以及Au和Ag纳米颗粒的均匀分布。研究结果表明，耗尽层的可控工程是设计高性能金属氧化物基气体传感器的一种有效方法。
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