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高掺杂微晶SiGe薄膜:结构和输运特性10.4028/www.scientific.net/SSP.67-68.149 DOI参考文献( Highly Doped Microcrystalline SiGe Films: Structure and Transport Properties 10.4028/www.scientific.net/SSP.67-68.149 DOI References )
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