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一种制备高温退火后具有高激光诱导损伤阈值的溶胶-凝胶HfO2薄膜的创新方法( An innovative method for preparation of sol-gel HfO2 films with high laser-induced damage threshold after high-temperature annealing )
M Zhang Y Zhu D Li P Feng C Xu
本研究以HfCl4为前驱体，HNO3为水解抑制剂，聚乙二醇为添加剂，采用溶胶-凝胶法制备了HfO2薄膜。研究了不同温度退火后薄膜的性能和激光损伤特性。所制备的薄膜具有高透过率、低吸收和高激光诱导损伤阈值(LIDT)。具体来说，薄膜在353 K退火后的LIDT高达31.6J/cm，573 K退火后逐渐下降到21.7J/cm，表明其耐高温能力较强。本文报道了一种制备高LIDT溶胶-凝胶HfO2薄膜的新方法，并指出了该薄膜在高温条件下的应用前景。
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