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电容式湿度传感器的目标性能优化:成分混合与集成无源器件制造( Target Properties Optimization on Capacitive-Type Humidity Sensor:Ingredients Hybrid and Integrated Passive Devices Fabrication )
H Yu JG Liang C Wang CC Liu XF Gu
优化的吸湿膜制备和高精度的制造保证了湿敏元件在灵敏度、迟滞性、响应/恢复速度、可靠性等方面的预期性能。研究了均苯四甲酸二酐(PMDA)/对苯二胺（p-PDA）和PMDA/氧化二胺(ODA)等原料的混合物来解决薄膜表面塌陷问题。采用聚丙烯腈(PAN)作为添加剂，以提高涂膜的可靠性（连续120小时测试的最大测量误差率为0.15%)，并辅助涂膜过程。采用平均粒径为0.33μm的金红石型TiO2作为掺杂元素，使磁滞减小到0.95%相对湿度(RH),灵敏度提高到0.94pF/%RH,响应/恢复时间限制在40s以内。集成无源器件(IPD)工艺保证了薄膜的生长质量和生产性能的一致性。
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