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一种高精度、模板辅助、各向异性湿蚀刻法制造钙钛矿微结构阵列( A high-precision, template-assisted, anisotropic wet etching method for fabricating perovskite microstructure arrays )
Xue-fangHu Chang-guiLu QuanWang Jing-kunXu Yi-pingCui
卤化铯铅(CspBx3；X=Cl,Br,I）钙钛矿微结构阵列由于其出色的光谱相干性、低阈值和宽带可调谐性而成为激光阵列应用的基础。此外，这些阵列的常规制作方法在同时实现定制设计和高分辨率方面存在局限性。本文报道了一种高精度、模板辅助、湿法蚀刻(TAWE)制备钙钛矿微结构阵列的方法。该方法具有设计灵活、尺寸可控、精度高（分辨率可达1微米或更高）等优点。利用该方法制作了直径为3微米、周期为4微米的20×20倒金字塔阵列。采用热注入法制备的CsPbBr3钙钛矿量子点,通过旋涂法填充到倒金字塔阵列中,并用400 nm的激光泵浦得到CsPbBr3钙钛矿量子点。测量并分析了阵列的激光特性；测量到阈值为37.6微J cm2,放大自发辐射谱的半峰全宽约为4.7 nm。这些结果表明，用该方法制备的钙钛矿微结构阵列在激光阵列中具有潜在的应用前景。
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