工业的角度来看 - Sci-Hub|Scidown

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作者：scidown 发布时间：2021-05-28 12:17:08 文章标题：

工业的角度来看( The Industrial Perspective )

文章作者：

JM Ting WY Wu SP Sharma CM Sung MC Kan

文章简述：

含金属的非晶碳（a-C：Me）薄膜被沉积在多种衬底上，包括硅、镀Pt的硅、镀碳的硅、聚合物和玻璃。沉积是在配备一个单磁控管枪的直流反应溅射沉积系统中进行的。所用气体为CH4+Ar的各种混合物。气体混合物进入了沉积室。

文章下载地址（开放版）：

ResearchGate

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